TY - JOUR
AU - R. Robertson
AU - D. Hils
AU - H. Chatham
AU - Alan Gallagher
BT - Applied Physics Letters
DA - Jan-01-1983
DO - 10.1063/1.94413
PY - 1983
EP - 544
T2 - Applied Physics Letters
TI - Radical species in argon-silane discharges
VL - 43
SN - 00036951
ER -