TY - CPAPER
AU - Damiano Nardi
AU - Kathleen Hoogeboom-Pot
AU - Jorge Charpak
AU - Marie Tripp
AU - S. King
AU - E. Anderson
AU - Margaret Murnane
AU - Henry Kapteyn
BT - unknown
CY - San Jose, California, USA
DA - 2013-01
DO - 10.1117/12.2011194
PB - SPIE
PP - San Jose, California, USA
PY - 2013
T2 - unknown
TI - SPIE Proceedings Probing limits of acoustic nanometrology using coherent extreme ultraviolet light
ER -