TY - JOUR AU - Yuka Esashi AU - Nicholas Jenkins AU - Y. Shao AU - Justin Shaw AU - S. Park AU - Margaret Murnane AU - Henry Kapteyn AU - Michael Tanksalvala BT - In Press PY - 2025 T2 - In Press TI - Tabletop Extreme Ultraviolet Reflectometer for Quantitative Nanoscale Reflectometry, Scatterometry, and Imaging ER -