TY - JOUR AU - A. Libertun AU - Xiaoshi Zhang AU - A. Paul AU - E. Gagnon AU - Tenio Popmintchev AU - Sterling Backus AU - Margaret Murnane AU - Henry Kapteyn AU - Ivan Christov BT - Applied Physics Letters DA - 2004-04 DO - 10.1063/1.1739276 PY - 2004 EP - 3903 T2 - Applied Physics Letters TI - Design of fully spatially coherent extreme-ultraviolet light sources VL - 84 SN - 00036951 ER -